佳世達旗下資騰SEMICON秀三大方案

（綜合壹蘋新聞網、聯合報等2家媒體報導）

佳世達集團羅昇旗下資騰科技（STC）將於SEMICON Taiwan 2026展出三大解決方案，鎖定半導體先進製程與矽光子商機，涵蓋量測、晶圓清洗及廠內物流三大環節。

資騰科技總經理陳國榮表示，隨著先進製程與矽光子快速發展，量測設備可信度、晶圓清潔品質及廠內物流效率已成為影響良率與生產穩定性的關鍵，資騰透過整合三大方案，協助客戶從單點設備優化延伸至跨製程管理。

在量測方面，Fractilia旗下FAME EDGE可持續監控CD-SEM設備狀態、辨識量測異常。據Fractilia資料，Low-NA EUV的理論解析能力與實際量產解析能力可能存在約5奈米落差。相關技術也延伸至矽光子領域，其計算式量測技術可掌握光波導側壁線邊粗糙度（LER）等結構變異，目前相關方案已獲全球超過30家半導體及矽光子企業採用。

晶圓清洗方面，ProSys兆聲波晶圓清洗採用專利BevelSonic技術，以非接觸方式清除晶圓邊緣與背面污染物。其中單晶圓清洗系統MegPie在Post-CMP測試中，微粒清除效率（PRE）達98%。

廠內物流方面，SEMI-TS混合式自動物料搬運系統（Hybrid AMHS）結合天車系統（OHT）及無塵輸送帶系統，已於中國及韓國建置，依已投產系統數據，排隊延遲可降低近50%；氮氣充填模組採隨插即用設計，降低改機及停機風險。