美商務部長關切EUV流入中國 ASML駁斥

（綜合TVBS新聞、中央社、聯合報等3家媒體報導）

美國商務部長盧特尼克（Howard Lutnick）近期在與荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）高層的多場會議中，表達對該公司極紫外光（EUV）微影設備可能已流入中國、違反美國主導出口管制的關切。ASML則強烈否認相關指控，強調從未向中國出貨任何EUV設備。

據知情人士透露，盧特尼克在涵蓋ASML在美投資承諾等議題的會議中，提出對EUV設備流向的質疑，但目前尚不清楚引發美方疑慮的具體原因。美國商務部未回應媒體多次詢問，包括是否掌握中國境內確有EUV機台的證據[2][1]。

ASML發言人表示，公司定期與各國政府進行透明且公開的對話，並全力遵守所有出口管制規範。ASML已駁斥多項關於不遵守對中國出口管制的毫無根據謠言，這些說法既不準確，也損害公司商譽[1]。

為自證清白，ASML在與盧特尼克會面後，於華府內部製作並流傳一份題為「沒有任何ASML EUV系統在中國的跡象」的文件。該文件指出，全球目前共有314台運作中的EUV機器，另有26台已除役，沒有任何一台在中國境內。文件也強調，ASML能自動偵測EUV產品組合的任何中斷或異常行為，且客戶在沒有ASML參與的情況下，無法拆除、運輸和重新安置EUV系統[3][1]。

然而，多位川普政府資深官員認為，ASML曾向中國運送用於運輸EUV機器的特殊設備及其他可用於EUV系統的零組件，但以資訊過於敏感為由，拒絕提供相關出口證明[1]。這些官員也拒絕說明若已掌握證據，為何不實施更嚴格的懲罰行動[1]。

荷蘭外交部表示，荷蘭非常嚴肅看待在半導體產業所扮演的獨特角色，並「非常嚴格」執行對EUV工具及相關出口的管制，總在必要時進行干預[1]。