- 中國傳已開始生產自研浸潤式DUV曝光機
- 預計今年交付約5台給中芯、華虹、長鑫存儲
- 明年產量目標提升至約20台
- ASML股價應聲下跌4.6%
- 美國半導體設備商股價同步下跌3.5%至4.3%
(綜合中央社、聯合報等2家媒體報導)
美國科技媒體The Information引述知情人士報導,中國已開始生產自研的浸潤式深紫外光曝光機(DUV),這項晶片製造關鍵設備長期由荷蘭供應商ASML主導。消息傳出後,ASML股價應聲下跌4.6%[3][2]。
報導指出,一家由中國政府支持的上海企業已啟動DUV設備生產,並從其他陸企延攬人才,組成深紫外光技術團隊,人才來源包括政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科技[1]。該公司預計今年生產約五台DUV微影設備,將交付給中芯國際、華虹半導體(華虹宏力)及長鑫存儲等中國主要晶片製造商;明年產量預計提升至約20台[1]。
受此消息影響,美國半導體設備商應用材料、科林研發及科磊股價也分別下跌4%、4.3%及3.5%[3][2]。上海宇量昇科技、中芯國際、華虹宏力、長鑫存儲均未回應The Information的置評請求[1]。
(新增自由時報、中時電子報、ETtoday新聞雲等9家媒體報導)
本次新增報導聚焦市場反應與專家分析,指出中國自研DUV消息引發全球半導體股恐慌性賣壓,但多位分析師認為市場「過度反應」。
台股28日終場重挫2030.83點,收41603.36點,跌幅4.65%;南韓股市盤中一度重挫約10%[12]。ASML美股27日收盤跌幅達5.8%,盤中一度跌逾8%並觸發停牌[10][7]。日本東京威力科創28日盤中大跌9.39%,三星電子跌8.88%、SK海力士跌11.18%[4]。台積電ADR跌破400美元關卡,收399.09美元[1]。
摩根大通分析師直言市場「過度反應」[9][7]。雲報政經產業分析師柴煥欣指出,ASML中國營收占比已從2024年的41%降至今年第二季的14%,即使中國全面實現DUV自給,對ASML整體營收影響預期控制在10個百分點以內[11]。美銀證券分析師估算,中國明年若成功生產20台DUV,對ASML銷售額影響約14億歐元,僅占其預估營收2.4%[4]。
半導體分析師陸行之則認為,短期雖難撼動ASML地位,但長線「國產替代」效應仍是隱憂[9][7]。
多家報導強調中國設備與ASML仍存在顯著差距。ASML年產超過130套浸潤式DUV系統,中國今年目標僅約5套[9]。柴煥欣指出,中國設備屬初代版本,在精度、產量與可靠性上仍落後多年,且部分關鍵零組件仍來自日本供應商[11][4]。台新投顧評估,對成熟製程晶圓廠與記憶體廠的基本面影響,最快在2028年後才會浮現[3]。
台新投顧分析,台灣半導體設備龍頭主要綁定台積電先進製程(EUV、2nm、3nm),中國國產DUV僅能用於成熟製程,對先進製程供應鏈無實質威脅;但以成熟製程或中國晶圓廠為主要客戶的設備代理商,長線可能面臨訂單流失風險[3]。
ETtoday報導指出,該款DUV主打28奈米成熟製程,透過多重圖形化曝光工藝可滿足7奈米級別晶片製造需求[10]。自由時報則披露,研發主體為在地化聯合體,參與者包括上海宇量昇科技、深圳新凱來、上海微電子(SMEE),以及華為與清華大學研究團隊[9]。
(新增中時電子報、ETtoday新聞雲、自由時報等6家媒體報導)
本次新增報導揭露主導量產的中國國營公司為「上海愛晟納電子科技集團」(Aishengna),並披露其成立背景與股東結構。
路透社首度披露,主導DUV量產的企業為上海愛晟納電子科技集團,成立於2023年8月,註冊資本70億人民幣,僅由兩家國有股東支持:上海電氣控股公司及上海國際信託旗下子公司[4][2]。該公司沒有官方網站,也未公開任何營運資料[4]。公司登記與徵才資料顯示,愛晟納與宇量昇在上海使用相同地址[2]。
消息人士指出,愛晟納整合了上海微電子裝備(SMEE)與宇量昇的技術團隊,宇量昇去年已開始測試一台DUV原型機[4]。
摩根大通分析師強調,「打造少量浸潤式DUV設備,並不等同具備高量產能力」,設備在良率、疊對精度、產出量與可靠性才是關鍵[4]。
財經作家狄驤則指出,中國生產DUV的消息過去每隔一段時間就會出現,列舉2020年、2023年、2024年、2025年共四次類似傳聞,但相關類股股價事後持續創高,中國依然高度依賴西方設備進口[3]。
本事件已沉寂,相關脈絡見「相關事件」