台大建置半導體製程場域 開放各校使用

（綜合中央社、聯合報等2家媒體報導）

台灣大學獲國科會「晶創台灣方案」支持，於卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，今（1）日舉行記者會對外公開。國科會投入約3億元經費，校方挹注1億元，設置11台先進設備，主要支援8吋晶圓製程，包括解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、奈米材料與半導體元件量測等，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務。

國科會計畫辦公室召集人武東星表示，過去學界設備常被詬病跟不上時代，此計畫特點在於設備雖設於台大，但全台大專校院師生團隊只要對半導體研究有興趣，皆可透過網站一站式申請使用。重點設備建置計畫主持人陳建甫則說明，學生甚至可在技術上做出二奈米元件，但設備非商業量產型，而是讓研究前期能將概念實體化，實現元件從無到有。

台大配合開設半導體製程與元件實作教學課程，涵蓋技術原理、設備操作與元件實作，學生能親自進入無塵室使用設備，目前1年約180名學生參與，課程也結合業界需求。

研究成果方面，台大物理系特聘教授邱雅萍團隊的「臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術」已發表於Nature期刊，能在元件通電運作狀態下以原子級解析度量測金屬與半導體接觸邊緣的電子傳輸行為。重點科技學院教授李敏鴻團隊則開發氧化鉿鋯奈米電容，整合能量儲存、廢熱發電與晶片主動冷卻，於無空氣環境下也能帶走熱能。

台大重點科技研究學院院長吳志毅表示，過去校內無塵室分散各處，缺乏群聚效益，此次更新後可與國外名校競爭。台大已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創、閎康等企業合作，產學合作金額約8400萬元，並與美國賓州大學共同設立半導體研究中心，推動跨國專題研究。