台積電攜供應商再生電子級二氧化碳 年減碳1200公噸

（綜合中央社、聯合報等2家媒體報導）

台積電與雙氧水供應商合作，針對生產過程中排放的尾氣進行碳捕捉與純化，轉化為電子級二氧化碳，已成功導入晶圓14B廠，預估年減碳約1200公噸。

台積電在新出爐的ESG電子報中說明，雙氧水與電子級二氧化碳皆為半導體製程重要化學品。生產雙氧水需使用氫氣，而製氫過程會排放含二氧化碳的尾氣。為實踐循環經濟，台積電與供應商共同規劃於氫氣工廠端增設專用回收管線系統，捕捉尾氣後導入儲存槽集中收集，再經吸脫附塔移除殘留氫氣，並透過純化塔分離雜質、提升純度，最終生成電子級二氧化碳。

為使再生電子級二氧化碳達到半導體製程的高純度標準，台積電輔導供應商建立品質保證證明機制，確保每批次產品符合規範。台積電亦提供技術支援，包括協助尾氣成分分析與純度檢測，引導調整純化操作參數以提升分離效率，並協助優化產線運作與槽車沖吹標準，透過現場稽核檢視生產管理流程。